罗茨真空泵安装-汕尾罗茨真空泵-三木森能源设备

螺杆式真空泵的工作原理

因为是脱胎于螺杆式压缩机，所以螺杆式真空泵的工作原理也与螺杆式压缩机类似。我们以近似的多头型线的来阐述：

1、吸气过程

图中可见，罗茨真空泵安装，阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

a、吸气过程即将开始    

b、吸气过程中        

c、吸气过程结束

因螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内完全无油，因此螺杆真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有的---性，可较好地替代旋片式真空泵、滑阀式真空泵使用。

螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。